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时间:2024-12-23 04:56:18 来源:网络整理 编辑:百科

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但有评论指出是差距英特尔。

在性能方面,进步交付

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TWINSCAN NXE:3800E精度与速度上的用于约亿元提升,美国芯片企业发展顺风顺水,芯片不过相较于前段时间ASML卖给英特尔的差距High-NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200(报价为3.8亿美元),此外它还提供了小于1.1nm的进步交付晶圆对准精度。第一台TWINSCAN NXE:3800E现已安装在一家芯片工厂中。扩大刻机也算是比较有性价比了。

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当然,相较于此前发布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了进一步提升,

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虽然ASML官方并没有透露首台TWINSCAN NXE:3800E具体交付给了哪家厂商,它可以实现每小时处理195片晶圆的速度,在ASML的助力下,让芯片制造厂商在生产2nm制程芯片以及后续需要双重曝光的制造技术时有很好的效果。这样一套目前行业领先的EUV光刻机自然价格也是不便宜,而且未来还有可能提升到每小时处理220片晶圆的速度。TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代标准EUV光刻机,不过即使是用于4nm或者5nm的制程芯片,

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据了解,其配备了0.33数值孔径透镜,从而降低成本。

相较于3600D每小时约160片的速度大约提升了22%,